一、精密濾芯
精密濾芯又稱過濾濾芯，分線繞濾芯和PP熔噴濾芯，主要用來過濾源水中的泥沙等大的顆粒物，其過濾精度有5微米、1微米等。
新濾芯呈白色，使用時間長了表面會淤積泥沙等雜物，呈現褐色，這就表示該濾芯不能繼續使用了，如果用自來水沖洗掉表面淤泥后，可以勉強使用一到兩周，但不能長期使用。
精密濾芯是放在濾瓶里面的，有些濾瓶是透明的，可以直觀地觀察濾芯的顏色變化，有些濾瓶是不透明的，需要將其擰開蓋子后才能觀察到濾芯的顏色變化。從以往的使用經驗來看，精密濾芯的壽命一般在三到六個月，若源水的泥沙較多，則其壽命會變短，若源水泥沙等顆粒物少，那么其使用壽命會延長一些。
二、活性炭濾芯
活性炭濾芯主要通過吸附作用去除水中的異味、有機物等，另外自來水若作為源水，水中是有余氯的，余氯對反滲透膜有很大的氧化作用，所以必須經由活性炭去除。
活性炭濾芯從外觀上觀察沒有直觀的變化，根據實際經驗來看，活性炭濾芯一般在一年左右就會達到飽和吸附狀態，需要進行更換。
三、反滲透膜
反滲透膜是超純水機中十分重要的部件，通過其產生的水即為三級純水。
反滲透膜孔徑非常小，所以在使用過程中常常有細菌等微小物質堵塞其孔隙，優普超純水機具有反沖洗功能，可以沖洗掉堵塞的污染物。若用水量在10升/天以內，可沖洗反滲透膜3-5次，若超過10升，則需要多沖洗幾次。
如果長期不使用(如一個月以上)超純水機，我們需要將反滲透膜從機器內取出，然后將其浸泡在消毒液中，避免細菌的滋生，不過該過程比較麻煩，可以間隔兩到三天開機運行一次，讓儀器內部的水流通出來，以減少死水的沉積時間。
反滲透膜的使用壽命一般在兩到三年，主要由用戶的用水量來決定，所以在起初采購時一定要注意選擇合適規格的超純水機。
四、超純化柱
超純化柱的作用是對反滲透純水進行深度脫鹽，使其達到一級水或超純水的標準，其工作原理是運用離子交換樹脂來去除純水中的離子。
超純化柱的質量是由離子交換樹脂的填充量和其本身質量所決定。超純化柱是否失效可由電阻率在線監測功能來表現，如果出水水質電阻率低于某個特定值，在排除其它因素后，即表示超純化柱過期失效，比較直觀。
